采用德國(guó)進(jìn)口真空泵； 真空腔上部帶波形紅外輔助加熱；
真空區(qū)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度及真空度；
三段式獨(dú)立運(yùn)輸，軌道自動(dòng)調(diào)寬系統(tǒng)；
專(zhuān)利熱風(fēng)結(jié)構(gòu)，控溫精準(zhǔn)；
適用于半導(dǎo)體車(chē)規(guī)級(jí)等低空洞率場(chǎng)合。
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